Элементарные сведения о полупроводниках.

По значению удельного электрического сопротивления полупроводники занимают промежуточное положение между хорошими проводниками (σ = 10 6 -10 4 Ом -1 см -1) и диэлектриками (σ= -12 — 10 -10 Ом -1 см -1). К числу полупроводников относятся многие химические элементы (германий, кремний, селен, индий, теллур, мышьяк и др.), огромное количество сплавов и химических соединений. Почти все неорганические вещества окружающего нас мира – полупроводники. Самым распространенным в природе полупроводником является кремний, составляющий около 30 % земной коры.

На электрическую проводимость полупроводников оказывает влияние кроме температуры сильное электрическое поле, давление, воздействие оптического и ионизирующего излучения, наличие примесей и другие факторы, способные изменять структуру вещества и состояние электронов. Это обстоятельство играет решающую роль в многочисленном и разнообразном использовании полупроводников .

Качественное отличие полупроводников от металлов проявляется прежде всего в зависимости удельного сопротивления от температуры. С понижением температуры сопротивление металлов падает. У полупроводников, напротив, с понижением температуры сопротивление возрастает и вблизи абсолютного нуля они практически становятся изоляторами.


Зависимость удельного сопротивления чистого полупроводника от температуры.

Такой ход зависимости ρ (T ) показывает, что у полупроводников концентрация носителей свободного заряда не остается постоянной, а увеличивается с ростом температуры. Механизм электрического тока в полупроводниках нельзя объяснить в рамках модели газа свободных электронов. Рассмотрим качественно этот механизм на примере германия (Ge). В кристалле кремния (Si) механизм аналогичен.

Атомы германия на внешней оболочке имеют четыре слабо связанных электрона. Их называют ковалентными электронами . В кристаллической решетке каждый атом окружен четырьмя ближайшими соседями. Связь между атомами в кристалле германия является ковалентной, т. е. осуществляется парами валентных электронов. Каждый валентный электрон принадлежит двум атомам.


Парно-электронные связи в кристалле германия и образование электронно-дырочной пары

Валентные электроны в кристалле германия связаны с атомами гораздо сильнее, чем в металлах; поэтому концентрация электронов проводимости при комнатной температуре в полупроводниках на много порядков меньше, чем у металлов. Вблизи абсолютного нуля температуры в кристалле германия все электроны заняты в образовании связей. Такой кристалл электрического тока не проводит.

При повышении температуры некоторая часть валентных электронов может получить энергию, достаточную для разрыва ковалентных связей. Тогда в кристалле возникнут свободные электроны (электроны проводимости). Одновременно в местах разрыва связей образуются вакансии, которые не заняты электронами. Эти вакансии получили название дырок. Вакантное место может быть занято валентным электроном из соседней пары, тогда дырка переместится на новое место в кристалле. При заданной температуре полупроводника в единицу времени образуется определенное количество электронно-дырочных пар. В то же время идет обратный процесс – при встрече свободного электрона с дыркой, восстанавливается электронная связь между атомами германия. Этот процесс называется рекомбинацией. Электронно-дырочные пары могут рождаться также при освещении полупроводника за счет энергии электромагнитного излучения. В отсутствие электрического поля электроны проводимости и дырки участвуют в хаотическом тепловом движении.

Концентрация электронов проводимости в полупроводнике равна концентрации дырок: n n = n p . Электронно-дырочный механизм проводимости проявляется только у чистых (т. е. без примесей) полупроводников. Он называется собственной электрической проводимостью полупроводников .

При наличии примесей электрическая проводимость полупроводников сильно изменяется. Например, добавка в кристалл кремния примесей фосфора в количестве 0,001 атомного процента уменьшает удельное сопротивление более чем на пять порядков. Такое сильное влияние примесей может быть объяснено на основе изложенных выше представлений о строении полупроводников. Необходимым условием резкого уменьшения удельного сопротивления полупроводника при введении примесей является отличие валентности атомов примеси от валентности основных атомов кристалла.

Проводимость полупроводников при наличии примесей называется примесной проводимостью . Различают два типа примесной проводимостиэлектронную и дырочную .

Электронная проводимость возникает, когда в кристалл германия с четырехвалентными атомами введены пятивалентные атомы (например, атомы мышьяка, As). Полупроводник n — типа. Атом мышьяка в кристаллической решётке германия.

На рисунке показан пятивалентный атом мышьяка, оказавшийся в узле кристаллической решетки германия. Четыре валентных электрона атома мышьяка включены в образование ковалентных связей с четырьмя соседними атомами германия. Пятый валентный электрон оказался излишним; он легко отрывается от атома мышьяка и становится свободным. Атом, потерявший электрон, превращается в положительный ион, расположенный в узле кристаллической решетки. Примесь из атомов с валентностью, превышающей валентность основных атомов полупроводникового кристалла, называется донорной примесью . В результате ее введения в кристалле появляется значительное число свободных электронов. Это приводит к резкому уменьшению удельного сопротивления полупроводника – в тысячи и даже миллионы раз. Удельное сопротивление проводника с большим содержанием примесей может приближаться к удельному сопротивлению металлического проводника.

В кристалле германия с примесью мышьяка есть электроны и дырки, ответственные за собственную проводимость кристалла. Но основным типом носителей свободного заряда являются электроны, оторвавшиеся от атомов мышьяка. В таком кристалле n n >> n p . Такая проводимость называется электронной , а полупроводник, обладающий электронной проводимостью, называется полупроводником n -типа .

Дырочная проводимость возникает, когда в кристалл германия введены трехвалентные атомы (например, атомы индия, In). На рисунке показан атом индия, который с помощью своих валентных электронов создал ковалентные связи лишь с тремя соседними атомами германия.


Полупроводник р-типа. Атом Индия в кристаллической решётке германия

На образование связи с четвертым атомом германия у атома индия нет электрона. Этот недостающий электрон может быть захвачен атомом индия из ковалентной связи соседних атомов германия. В этом случае атом индия превращается в отрицательный ион, расположенный в узле кристаллической решетки, а в ковалентной связи соседних атомов образуется вакансия. Примесь атомов, способных захватывать электроны, называется акцепторной примесью . В результате введения акцепторной примеси в кристалле разрывается множество ковалентных связей и образуются вакантные места (дырки). На эти места могут перескакивать электроны из соседних ковалентных связей, что приводит к хаотическому блужданию дырок по кристаллу.

Наличие акцепторной примеси резко снижает удельное сопротивление полупроводника за счет появления большого числа свободных дырок. Концентрация дырок в полупроводнике с акцепторной примесью значительно превышает концентрацию электронов, которые возникли из-за механизма собственной электропроводности полупроводника: n p >> n n . Проводимость такого типа называется дырочной проводимостью . Примесный полупроводник с дырочной проводимостью называется полупроводником p -типа . Основными носителями свободного заряда в полупроводниках p -типа являются дырки.

Следует подчеркнуть, что дырочная проводимость в действительности обусловлена эстафетным перемещением по вакансиям от одного атома германия к другому электронов, которые осуществляют ковалентную связь.

Для полупроводников n — и p -типов закон Ома выполняется в определенных интервалах сил тока и напряжений при условии постоянства концентраций свободных носителей.

Твердые материалы условно делятся на проводники, полупроводники и диэлектрики. Это разделение связано с количеством (концентрацией) свободных носителей заряда в материале. Свободный носитель заряда – это носитель заряда, способный свободно передвигаться в кристаллической решетке материала. Чем больше этих свободных носителей, тем больше проводимость материала.

В проводниках с.н. очень много и его проводимость велика (сопротивление мало)

В диэлектриках – практически нет, сопротивление ОЧЕНЬ велико.

ПП занимает промежуточное положение как по кол-ву с.н., так и по проводимости.

Энергетические (зонные) диаграммы полупроводников.

Каждой электронной оболочке в отдельно взятом атоме соответствует определенный энергетический уровень. Если по вертикали откладывать энергию, то энергетические уровни электронных оболочек атомаSiможно представить в виде трех горизонтальных линий (рис 1,а). При этом верхняя линия соответствует энергии В. электрона. При взаимодействии атомов в кристаллической решетке энергетические уровни электронов смещаются («расцепляются»), образуяэнергетические зоны (рис 1,б). Внутренние электроны оболочки атомов слабо взаимодействуют с другими атомами кристаллической решетки, так как они как бы заэкранированы внешней оболочкой. Поэтому внутренние энергетические зоны уже внешней. Изображенные на рис 1 диаграммы являются одномерными, то есть по горизонтали на них ничего не откладывают, а вместо точек лини произвольной длины лишь для наглядности. Поскольку электроны с энергетическими уровнями, лежащими во внутренних зонах, не могут принимать участие в процессе электропроводности, их на энергетических диаграммах обычно не изображают и отсчет энергии ведут от низшего уровня В3. На рис.2 изображены энергетические (зонные) диаграммыSiиGe.

В
ыше В3 расположенаЗП представляющая собой совокупность энергетических уровней свободных электронов. Эту зону иногда называютсвободной . Между В3 и ЗП находитсяЗЗ с шириной, равной минимальной энергии, которую необходимо сообщить В. Электрону для того, чтобы он мог оторваться от атома и стать свободным (для перехода электрона с высшего уровня В3W В на низший уровень ЗПW П), т.е. 1,12 эВ дляSiи 0,72 эВ дляGe. Запрещенной эта зона называется потому, что электрон не может длительно находиться в ней (т.е. длительно иметь энергетические уровни, соответствующие этой зоне). Если В. электрон получил дополнительную энергию, меньшую необходимой для его отрыва от атома, например дляSiменьшую 1,12 эВ, то электрон лишь переходит на более удаленную от ядра орбиту. Такое состояние атома принято называтьвозбужденным . Электрон вскоре возвращается на свою обычную орбиту, отдавая при этом в окружающее пространство полученную ранее энергию в виде электромагнитной волны – фотона.

В зонной теории часто употребляют выражения: электрон переходит из ВЗ в ЗП,электрон перемещается в ЗПи т.п. Следует заметить, что при этом имеют в виду энергетические уровни электронов, а сами электроны, разумеется, перемещаются не в зонах, а в кристалле полупроводника.

Уровень Ферми

Вероятность нахождения электрона на том или ином энергетическом уровне при температуре Т определяется функцией Ферми – Дирака:

где W F – энергетический уровень, называемый уровнем Ферми.

При Т=0К вероятность занятия электронами уровнейWW F равна нулю:

а уровней WW F единице:

Энергия для перахода в зону проводимости берется от тепловых колебаний. Поэтому при Т=0К свободных электронов в полупроводнике нет (ни один уровень в ЗП не занят электроном), все электроны находятся на орбитах (в ВЗ), следовательно, энергетические ЗП соответствуют условиюWW F , а энергетические уровни ВЗ – условиюWW F . Это говорит о том, что уровень ФермиW F расположен ниже «дна» ЗПW П и выше «потолка» ВЗW В, т.е. в ЗЗ. На рис. 3 приведены кривые функции Ферми – Дирака.

При Т=0К фуекцияf n (W) имеет ступенчатый характер. Вероятность занятия электронами уровней в ЗП = 0, а в ВЗ = 1.

При Т 0°К появляется небольшая вероятность занятия электронами уровней в ЗП, а вероятность занятия уровней в ВЗ соответственно снижается.

Из формулы Ферми – Дирака видно, что при температуре, отличной от абсолютного нуля (Т0), уровень Ферми – это такой энергетический уровень W = W F , формальная вероятность заполнения которого электроном равна 0,5 (т.к. е = 1).

Формальное потому, что уровень Ферми находится в запрещенной зоне и фактически не может быть занят электроном. Таким образом, конкретный смысл имеют только те участники кривой распределения f n (W), которые расположены в ЗП и в ВЗ.

Кривая распределения Ферми – Дирака всегда симметрична относительно уровня Ферми. Из этого, в частности, следует, что в собственном полупроводнике уровень Ферми расположен посередине ЗЗ. При повышении температуры от нуля появляется определенная вероятность занятия электронами энергетических уровней в ЗП. Но при этом на такую же величину снижается вероятность нахождения электронов в ВЗ. Нетрудно видеть, что при симметричном размещении кривой распределения f n (W) относительно уровня Ферми это возможно только в случае, если уровень Ферми будет находиться посередине ЗЗ.

ПРОГРАММА-МИНИМУМ

кандидатского экзамена по специальности

01.04.10 «Физика полупроводников»

по техническим и физико-математическим наукам

Введение

В основу настоящей программы положены основные разд елы физики полупроводников, касающиеся основных физических проблем данной области, основ технологии и работы приборов на базе полупроводниковых материалов.

Программа разработана экспертным советом Высшей аттестационной комиссии Министерства образования Российской Федерации по физике при участии Московского государственного университета им. М.В.Ломоносова, ФТИ им. А.Ф.Иоффе РАН, ИФП СО РАН, ИРЭ РАН, ФИАН им. П.Н.Лебедева, ИФМ РАН (Нижний Новгород) и СПбГТУ.

1. Химическая связь и атомная структура полупроводников

Электронная конфигурация внешних оболочек атомов и типы сил связи в твердых телах. Ван-дер-ваальсова, ионная и ковалентная связь.

Структуры важнейших полупроводников – элементов A IV , A VI и с оединений типов A III B V , A II B VI , A IV B VI .

Симметрия кристаллов. Трансляционная симметрия кристаллов. Базис и кристаллическая структура. Элементарная ячейка. Примитивная ячейка. Ячейка Вигнера-Зейтца. Решетка Браве. Обозначения узлов, направлений и плоскостей в кристалле. Обратная решетка, ее свойства. Зона Бриллюэна.

Примеси и структурные дефекты в кристаллических и аморфных полупроводниках. Химическая природа и электронные свойства примесей. Точечные, линейные и двумерные дефекты.

2. Основы технологии полупроводников
и методы определения их параметров

Методы выращивания объемных монокристаллов из жидкой и газовой фаз.

Методы выращивания эпитаксиальных пленок (эпитаксия из жидкой и газовой фазы).

Молекулярно-лучевая эпитаксия. Металлорганическая эпитаксия.

Методы легирования полупроводников.

Основные методы определения параметров полупроводников: ширины запрещенной зоны, подвижности и концентрации свободных носителей, времени жизни неосновных носителей, концентрации и глубины залегания уровней примесей и дефектов.

3. Основы зонной теории полупроводников

Основные приближения зонной теории. Волновая функция электрона в периодическом поле кристалла. Теорема Блоха. Зона Бриллюэна. Энергетические зоны.

Законы дисперсии для важнейших полупроводников. Изоэнергетические поверхности. Тензор обратной эффективной массы. Плотность состояний. Особенности Ван-Хова.

Уравнения движения электронов и дырок во внешних полях. Метод эффективной массы. Искривление энергетических зон в электрическом поле. Движение электронов и дырок в магнитном поле. Определение эффективных масс из циклотронного (диамагнитного) резонанса. Связь зонной структуры с оптическими свойствами полупроводника.

Уровни энергии, создаваемые примесными центрами в полупроводниках. Доноры и акцепторы. Мелкие и глубокие уровни. Водородоподобные примесные центры.

4. Равновесная статистика электронов и дырок
в полупроводниках

Функция распределения электронов. Концентрация электронов и дырок в зонах, эффективная плотность состояний. Невырожденный и вырожденный электронный (дырочный) газ. Концентрации электронов и дырок на локальных уровнях. Факторы вырождения примесных состояний.

Положение уровня Ферми и равновесная концентрация электронов и дырок в собственных и примесных (некомпенсированных и компенсированных) полупроводниках. Многозарядные примесные центры.

5. Кинетические явления в полупроводниках

Кинетические коэффициенты – проводимость, постоянная Холла и термо-ЭДС. Дрейфовая скорость, дрейфовая и холловская подвижности, фактор Холла. Дрейфовый и диффузионный ток. Соотношение Эйнштейна.

Механизмы рассеяния носителей заряда в неидеальной решетке. Взаимодействие носителей заряда с акустическими и оптическими фононами. Рассеяние носителей заряда на заряженных и нейтральных примесях. Горячие электроны. Отрицательная дифференциальная проводимость. Электрические неустойчивости; электрические домены и токовые шнуры.

6. Рекомбинация электронов и дырок в пол упроводниках

Генерация и рекомбинация неравновесных носителей заряда. Квазиравновесие, квазиуровни Ферми. Уравнение кинетики рекомбинации. Времена жизни. Фотопроводимость.

Механизмы рекомбинации. Излучательная и безызлучательная рекомбинация. Межзонная рекомбинация. Рекомбинация через уровни примесей и дефектов. Центры прилипания. Оже-рекомбинация.

Пространственно неоднородные неравновесные распределения носителей заряда. Амбиполярная диффузия. Эффект Дембера. Длина диффузии неравновесных носителей заряда.

7. Контактные явления в полупроводниках

Схема энергетических зон в контакте металл-полупроводник. Обогащенные, обедненные и инверсионные слои пространственного заряда вблизи контакта. Вольт-амперная характеристика барьера Шоттки.

Энергетическая диаграмма p-n перехода. Инжекция неосновных носителей заряда в p-n переходе.

Гетеропереходы. Энергетические диаграммы гетеропереходов.

Варизонные полупроводники.

8. Свойства поверхности полупроводников

Поверхностные состояния и поверхностные зоны. Искривление зон, распределение заряда и потенциала вблизи поверхности. Поверхностная рекомбинация.

Эффект поля.

Таммовские уровни. Скорость поверхностной рекомбинации.

9. Оптические явления в полупроводниках

Комплексная диэлектрическая проницаемость, показатель преломления, коэффициент отражения, коэффициент поглощения. Связь между ними и соотношения Крамерса-Кронига.

Межзонные переходы. Край собственного поглощения в случае прямых и непрямых, разрешенных и запрещенных переходов. Экситонное поглощение и излучение. Спонтанное и вынужденное излучение.

Поглощение света на свободных носителях заряда.

Поглощение света на колебаниях решетки. Рассеяние света колебаниями решетки, комбинационное рассеяние на оптических фононах (Рамана – Ландсберга), рассеяние на акустических фононах (Бриллюэна – Мандельштама).

Влияние примесей на оптические свойства. Примесная структура оптических спектров вблизи края собственного поглощения в прямозонных и непрямозонных полупроводниках. Межпримесная излучательная рекомбинация. Экситоны, связанные на примесных центрах.

Оптические явления во внешних полях. Эффект Франца-Келдыша. Эффект Поккельса.

Эффект Бурштейна-Мосса.

Эффекты Фарадея и Фойгта.

10. Фотоэлектрические явления

Примесная и собственная фотопроводимость. Влияние прилипания неравновесных носителей заряда на фотопроводимость.

Оптическая перезарядка локальных уровней и связанные с ней эффекты. Термостимулированная проводимость.

Фоторазогрев носителей заряда.

Фотоэлектромагнитный эффект.

11. Некристаллические полупроводники

Аморфные и стеклообразные полупроводники. Структура атомной матрицы некристаллических полупроводников. Идеальное стекло. Гидрированные аморфные полупроводники.

Особенности электронного энергетического спектра неупорядоченных полупроводников. Плотность состояний. Локализация электронных состояний. Щель подвижности.

Легирование некристаллических полупроводников.

Механизмы переноса носителей заряда. Прыжковая проводимость. Закон Мотта.

Спектры оптического поглощения некристаллических материалов. Правило Урбаха.

Нестационарные процессы. Определение дрейфовой подвижности по измерениям времени пролета. Дисперсионный перенос.

Влияние внешних воздействий на свойства некристаллических полупроводников. Метастабильные состояния.

12. Полупроводниковые структуры пониженной размерности
и сверхрешетки

Размерное квантование. Двумерные и квазидвумерные электронные системы и структуры, в которых они реализуются. Контра- и ковариантные композиционные сверхрешетки, легированные сверхрешетки легирования. Квантовые нити. Квантовые точки. Энергетический спектр электронов и плотность состояний в этих системах.

Оптические явления в структурах с квантовыми ямами, правила отбора для межзонных и внутризонных (межподзонных) переходов. Межзонное поглощение и излучательная рекомбинация в этих структурах. Экситоны в квантовых ямах, квантово-размерный эффект Штарка.

Электрические и гальваномагнитные явления в двумерных структурах. Эффект Шубникова-де Гааза. Общее представление о квантовом эффекте Холла.

13. Принципы действия полупроводниковых приборов

Вольтамперная характеристика p-n перехода. Приборы с использованием p-n переходов.

Туннельный диод. Диод Ганна. Биполярный транзистор. Тиристор.

Энергетическая диаграмма структуры металл-диэлектрик-полупроводник

( МДП). Полевые транзисторы на МДП-структурах. Приборы с зар ядовой связью.

Шумы в полупроводниковых приборах.

Фотоэлементы и фотодиоды. Спектральная чувствительность и обнаружительная способность. Полупроводниковые детекторы ядерных излучений. Фотоэлектрические преобразователи, КПД преобразования.

Светодиоды и полупроводниковые лазеры. Инжекционные лазеры на основе двойной гетероструктуры.

Использование наноструктур в полупроводниковых приборах. Гетеротранзистор с двумерным электронным газом (HEMT). Гетеролазеры на основе структур с квантовыми ямами и квантовыми точками. Резонансное туннелирование в двухбарьерной гетероструктуре и резонансно-туннельный диод. Оптический модулятор на основе квантово-размерного эффекта Штарка.

Основная литература

Бонч-Бруевич В.Л., Калашников С.Г. Физика полупроводников. М.: Наука, 1979.

Займан Дж. Принципы теории твердого тела. М.: Мир, 1974.

Киреев П.С. Физика полупроводников. М.: Высш. шк., 1975.

Шалимова К.В. Физика полупроводников. М.: Энергоатомиздат, 1985.

Зи С. Физика полупроводниковых приборов. М.: Мир, 1984.

Мотт Н., Мотт Э. Электронные процессы в некристаллических в еществах. М.: Мир, 1974.

Мотт Ю.И. Оптические свойства полупр оводников. М.: Наука, 1977.

Примечание. При подготовке к экзамену по техническим наук ам н еобходимо особое внимание обратить на раздел 13 программы.

ФИЗИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ

Другой областью физики, в которую академик А. Ф. Иоффе также внес вместе со своими учениками огромный общепризнанный вклад, является физика полупроводников. Сегодня нам трудно представить себе физику без этой весьма актуальной области, но тридцать с лишним лет назад, когда А. Ф. Иоффе занялся систематическим исследованием свойств полупроводников, многие физики весьма критически отнеслись к этому начинанию. В то время казалось, что только металлы и диэлектрики являются материалами, достойными серьезных физических исследований. Проводники и изоляторы - это важно и нужно технике, а полупроводники, хотя к ним относится большинство природных соединений, - бесполезный и бесперспективный материал. Но академик А. Ф. Иоффе гениально предвидел ту огромную революционизирующую роль, которую уже сегодня полупроводники играют в технике.

На первых порах многое приходилось создавать - прежде всего методы получения достаточно чистых полупроводников и способы экспериментального определения их основных физических свойств: концентрации носителей тока, типа проводимости (электронный или дырочный), подвижности носителей и т. п. Многие из этих методов, впервые созданные А. Ф. Иоффе и его учениками, стали впоследствии классическими.

«Школа» Иоффе выполнила целую серию пионерских исследований электрических, гальваномагнитных, термоэлектрическях и фотоэлектрических свойств полупроводников различных типов.

Одним из важнейших результатов, полученных А. Ф. Иоффе и его сотрудниками, было обнаружение огромного влияния примесей на электрические свойства полупроводников. А. Ф. Иоффе показал, что примеси не только меняют в широких пределах проводимость полупроводников, но могут изменять даже знак носителей тока, превращать электронный полупроводник в дырочный и наоборот. Причем роль примеси могут играть не только чужеродные атомы, но и собственные атомы полупроводника при их избытке или недостатке. Например, избыток (против стехиометрического соотношения) атомов свинца в полупроводнике PbS делает этот полупроводник электронным, а избыток серы - дырочным полупроводником.

А. Ф. Иоффе первым сформулировал и экспериментально обосновал современные представления о механизме выпрямляющего действия полупроводников. Он показал, что запирающий слой образуется в результате контакта двух полупроводников с различными носителями тока - электронным и дырочным (по современной терминологии «p-n -переход»). При этом ток может свободно проходить только в том направлении, при котором электроны и дырки движутся навстречу друг другу по направлению к контакту, где они встречаются и рекомбинируют. В противоположном случае электроны и дырки расходятся друг от друга и проводимость контактного слоя резко падает, так как в нем остается крайне мало носителей тока. Эти работы открыли путь к созданию полупроводниковых выпрямителей (диодов).

Изучая полупроводниковые свойства ряда интерметаллических сплавов, принадлежащих так называемым «дальтонидам» (ZnSb, Mg 3 Sb 2 , Mg 2 Sn и т. п.) - типичным циклическим соединениям с валентной связью, А. Ф. Иоффе создал метод получения полупроводников с изменяющимися в широких пределах свойствами.

Особенно большое внимание А. Ф. Иоффе уделял исследованиям термоэлектрических и фотоэлектрических свойств полупроводников. Используя эти свойства, можно создать новые методы прямого преобразования энергии тепла и света в электрическую энергию, более надежные и экономичные.

А. Ф. Иоффе разработал теорию термоэлектрогенераторов и термоэлектрических холодильников (использующих эффект Пельте), открыв для современной техники новую обширную область - полупроводниковую энергетику. Под его руководством были сконструированы десятки новых типов полупроводниковых приборов и энергетических устройств, получивших разнообразные практические применения.

Из книги Дао физики автора Капра Фритьоф

Из книги Физики продолжают шутить автора Конобеев Юрий

Физика как наука и искусство Карл ДАРРОУ Из выступления на собрании, посвященном 20-летию со дня основания Американского института физики Свое выступление мне, очевидно, следует начать с определения, что такое физика. Американский институт физики сформулировал уже это

Из книги Медицинская физика автора Подколзина Вера Александровна

17. Физика слуха Слуховая система связывает непосредственный приемник звуковой волны с головным мозгом.Используя понятия кибернетики, можно сказать, что слуховая система получает, перерабатывает и передает информацию. Из всей слуховой системы для рассмотрения физики

Из книги Пять нерешенных проблем науки автора Уиггинс Артур

Нужна новая физика Как видим, опытное подтверждение существует лишь для стандартной модели. Однако своей проверки ждут многие теории. Вот некоторые из

Из книги Без ретуши. Портреты физиков на фоне эпохи автора Иоффе Борис Лазаревич

Физика - биология - химия Несмотря на значимость модельных организмов для биологов, поле деятельности современной биологии значительно расширилось во многом благодаря нахлынувшим туда представителям других отраслей знаний, чья деятельность преобразила сам подход к

Из книги Эволюция физики автора Эйнштейн Альберт

Кончится ли физика? Немного фантазии Когда я говорю «кончится ли физика?», я имею в виду, закончатся ли исследования новых, неизученных областей этой науки, как это произошло, например, с географией. География «закончилась» в том смысле, что новых, неоткрытых материков,

Из книги «Вы, конечно, шутите, мистер Фейнман!» автора Фейнман Ричард Филлипс

Физика и реальность Какие общие выводы можно сделать из развития физики, обрисованного здесь в общих чертах, представляющих лишь наиболее фундаментальные идеи?Наука вовсе не является коллекцией законов, собранием несвязанных фактов. Она является созданием

Из книги История лазера автора Бертолотти Марио

Из книги Кто изобрел современную физику? От маятника Галилея до квантовой гравитации автора Горелик Геннадий Ефимович

Физика Декарта Открытие Кеплером трех законов движения планет указало на исключительную важность математики в изучении природы, и воодушевило Декарта, чьи исследования основывались на убеждении, что теоремы математики дают точность, определенность и универсальный

Из книги Достучаться до небес [Научный взгляд на устройство Вселенной] автора Рэндалл Лиза

Из книги Вы, разумеется, шутите, мистер Фейнман! автора Фейнман Ричард Филлипс

Физика современная и физика фундаментальная Прежде всего выясним суть новой физики, отличавшую ее от физики предыдущей. Ведь опыты и математика Галилея не выходили за пределы возможностей Архимеда, которого Галилей не зря называл «божественнейшим». В чем Галилей вышел

Из книги Гиперпространство автора Каку Мичио

ЯДЕРНАЯ ФИЗИКА Продолжая наше путешествие по линейке масштабов вниз, в глубину атомного ядра, мы еще не раз увидим новые определения, новые базовые компоненты и даже новые физические законы, но фундаментальная квантово–механическая парадигма останется

VI. Экстремальная физика 21. Четвертое и пятое измерения Время как четвертое измерение Пространство нашей Вселенной обладает тремя осями координат: «верх – низ», «восток – запад» и «север – юг». Однако чтобы пообедать с подругой, придется договориться не только

К.В.Шалимова

ФИЗИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ

М.: Энергоатомиздат, 1985. - 392 с., ил.

Рассмотрены модельные представления о механизме электропроводности, даны основы зонной теории полупроводников и теории колебаний решетки, изложена статистика электронов и дырок, рассмотрены механизмы рассеяния носителей заряда, генерация и рекомбинация носителей заряда, диффузия и дрейф неравновесных носителей заряда, изложены контактные и поверхностные явления в полупроводниках, их оптические и фотоэлектрические свойства. Второе издание учебника вышло в 1976 г. Третье издание отличается некоторыми изменениями главным образом методического характера.

Учебник может быть полезен инженерно-техническим работникам. ОГЛАВЛЕНИЕ

Предисловие

Список основных обозначений

Глава первая. Полупроводники. Элементарная теория электропроводности

1.1. Классификация веществ по удельной электрической проводимости

Полупроводники

1.2. Модельные представления о механизме электропроводности

собственных полупроводников

1.3. Модельные представления о механизме электропроводности

примесных полупроводников

1.4. Элементарная теория электропроводности полупроводников

Глава вторая. Основы зонной теории полупроводников

2.1. Уравнение Шредингера для кристалла

2.2. Адиабатическое приближение и валентная аппроксимация

2.3. Одноэлектронное приближение

2.4. Приближение сильно связанных электронов

2.5. Число состояний электронов в энергетической зоне

2.6. Квазиимпульс

2.7. Зоны Бриллюэна

2.8. Возможное заполнение электронных состояний валентной зоны

2.9. Зависимость энергии электрона от волнового вектора у дна и потолка

энергетической зоны

2.10. Движение электронов в кристалле под действием внешнего

электрического поля

2.11. Эффективная масса носителей заряда

2.12. Циклотронный резонанс

2.13. Зонная структура некоторых полупроводников

2.14. Метод эффективной массы

2.15. Элементарная теория примесных состояний

Глава третья. Колебания атомов кристаллической решетки

3.1. Одномерные колебания однородной струны

3.2. Колебания одноатомной линейной цепочки

3.3. Энергия колебаний атомов одномерной решетки. Нормальные

координаты

3.4. Колебания двухатомной линейной цепочки

3.5. Колебания атомов трехмерной решетки

3.6. Статистика фононов

3.7. Теплоемкость кристаллической решетки

3.8. Термическое расширение и тепловое сопротивление твердого тела

Глава четвертая. Статистика электронов и дырок в полупроводниках

4.1. Плотность квантовых состояний

4.2. Функция распределения Ферми - Дирака

4.3. Степень заполнения примесных уровней

4.4. Концентрации электронов и дырок в зонах

4.5. Примесный полупроводник

4.6. Собственный полупроводник

4.7. Зависимость уровня Ферми от концентрации примеси и температуры

для невырожденного полупроводника

4.8. Зависимость уровня Ферми от температуры для невырожденного

полупроводника с частично компенсированной примесью

4.9. Примесные полупроводники при очень низких температурах

4.10. Некристаллические полупроводники I.

Глава пятая. Рассеяние электронов и дырок в полупроводниках

5.1. Механизмы рассеяния электронов и дырок

5.2. Кинетическое уравнение Больцмана

5.3. Равновесное состояние

5.4. Время релаксации

5.5. Рассеяние на ионах примеси

5.6. Рассеяние на атомах примеси и дислокациях

5.7. Рассеяние на тепловых колебаниях решетки

Глава шестая. Кинетические явления в полупроводниках

6.1. Неравновесная функция распределения

6.2. Удельная электрическая проводимость полупроводников

6.3. Зависимость подвижности носителей заряда от температуры

6.4. Эффект Холла

6.5. Эффект Холла в полупроводниках с двумя типами носителей заряда

6.6. Магниторезистивный эффект

6.7. Термоэлектрические явления

6.8. Теплопооводность полупроводников

6.9. Электропроводность полупроводников в сильном электрическом поле

6.10. Эффект Ганна

6.11. Ударная ионизация

7.3. Монополярная оптическая генерация носителей заряда.

7.4. Механизмы рекомбинации

7.5. Межзонная излучательная рекомбинация

7.6. Межзонная ударная рекомбинация

7.7. Рекомбинация носителей заряда через ловушки

7.8. Температурная зависимость времени жизни носителей заряда при

рекомбинации через ловушки

7.9. Центры захвата и рекомбинационные ловушки

Глава восьмая. Диффузия и дрейф неравновесных носителей заряда

8.1. Уравнение непрерывности

8.2. Диффузионный и дрейфовый токи

8.3. Соотношение Эйнштейна

8.4. Диффузия и дрейф неравновесных носителей заряда в случае

монополярной проводимости

8.5. Диффузия и дрейф неосновных избыточных носителей заряда в

примесном полупроводнике

8.6. Диффузия и дрейф неравновесных носителей заряда в полупроводнике

с проводимостью, близкой к собственной

Глава девятая. Контактные явления в полупроводниках

9.1. Полупроводник во внешнем электрическом поле

9.2. Термоэлектронная работа выхода

9.3. Контакт металл - металл. Контактная разность потенциалов

9.4. Контакт металл - полупроводник

9.5. Выпрямление тока в контакте металл - полупроводник

9.6. Диодная теория выпрямления тока

9.7. Диффузионная теория выпрямления тока

9.8. Контакт электронного и дырочного полупроводников

9.9. Выпрямление тока в p-n переходе

9.10. Теория тонкого p-n перехода

9.11. n+-n и p+-p переходы

9.12. Гетеропереходы

9.13. Контакт вырожденных электронного и дырочного полупроводников.

Туннельный диод

9.14. Омический переход

Глава десятая. Поверхностные явления в полупроводниках

10.1. Природа поверхностных уровней

10.2. Теория слоя пространственного заряда

10.3. Эффект поля

10.4. Скорость поверхностной рекомбинации

10.5. Влияние поверхностной рекомбинации на время жизни носителей

заряда в образцах конечных размеров

Глава одиннадцатая. Поглощение света полупроводниками

11.1. Спектр отражения и спектр поглощения

11.2. Собственное поглощение при прямых переходах

11.3. Собственное поглощение при непрямых переходах

11.4. Поглощение сильно легированного и аморфного полупроводников

11.5 Влияние внешних воздействий на собственное поглощение

полупроводников

11.6. Экситонное поглощение

11.7. Поглощение свободными носителями заряда

11.8. Примесное поглощение

11.9. Решеточное поглощение

Глава двенадцатая. Люминесценция полупроводников

12.1. Типы люминесценции

12.2. Мономолекулярное свечение твердых тел

12.3. Рекомбинационное излучение полупроводников при

фундаментальных переходах

12.4. Рекомбинационное излучение при переходах между зоной и

примесными уровнями

12.5. Релаксация люминесценции полупроводников

12.6. Температурное тушение люминесценции полупроводников

12.7. Спонтанное и вынужденное излучение атома

12.8. Стимулированное излучение твердых тел

Глава тринадцатая. Фотоэлектрические явления в полупроводниках

13.1. Внутренний фотоэффект

13.2. Фотопроводимость

13.3. Релаксация фотопроводимости

13.4. Фотопроводимость при наличии поверхностной рекомбинации и

диффузии носителей заряда

13.5. Эффект Дембера

13.6. Фотоэлектромагнитный эффект

13.7. Фотоэффект в p-n переходе

13.8. Фотоэффект на барьере Шоттки

13.9. Внешний фотоэффект

Приложения:

I. Свойства Ge, Si и GaAs (при 300 К)

II. Свойства полупроводников

III. Физические константы

Предметный указатель

ПРЕДМЕТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ

Амбиполярная диффузионная

Адиабатическое приближение 24

подвижность 239

Аккумуляция носителей заряда 236

Дрейфовая подвижность 238

Акустические ветви колебаний

Ангармонизм колебаний 91

решетки 78

Ангармонический осциллятор 92

Акцептор, определение 18

Антизапорный слой 250

Акцепторный полупроводник 18, 119

Барьер Шотгки 285 Барьерная емкость 264

Бимолекулярное рекомбинационное свечение 345

Биолюминесценция 336 Биполярная оптическая генерация

носителей заряда 202

Вероятность переходов 135

- поглощения фонона 209, 306

Рассеяния 135

- релаксации 147 Вертикальные переходы 305 Виды рекомбинации 336 Влияние давления 317

- поля магнитного 318

- - электрического 318

Температуры 316

Внешний фотоэффект 375 Внешняя контактная разность

потенциалов 248 Внутренний фотоэффект 357

Внутренняя контактная разность потенциалов 247

Водородоподобные центры 66 Волновое число 28, 71 Волновой вектор пакета 48

Решетки 72 Волновой вектор фонона 83

Электрона 28 Вольт-амперная характеристика

контакта металл- полупроводник 255, 260

P-n перехода 266 Время жизни дырки 208, 217

- - мгновенное 204, 212

- - неравновесных носителей заряда 203, 208, 212, 218

- - температурная зависимость 219

Фотона 210, 306

- - электрона 208, 212, 217

Электронно-дырочной пары

- релаксации 139, 152, 153

- - максвелловское 205

- - при рассеянии на ионах примеси 160

- - - решеточном рассеянии 160 Выпрямление на контакте металл -

полупроводник 253

P-n переходе 264 Вырожденный примесный полупроводник 106

- собственный полупроводник 112

Гармонический осциллятор 76, 81 Генерация носителей заряда 13 ,199

Биполярная 202

- - - монополярная 204 Гетеропереход 275

Демаркационный уровень 223 Дефекты 142

Линейные 142

Точечные 142

Диодная теория выпрямления тока

Дислокации 142 Диффузионная длина 234

Скорость 234

- теория выпрямления тока 258 Диффузионное рассеяние 292 Диффузионный ток 226 Диффузия носителей заряда 224, 229. Диэлектрическое время релаксации

Длина диффузионная 234

Дрейфа 235

Затягивания 234

- свободного пробега носителей заряда 14, 142, 147, 152, 153

Фонона 210, 306

- экранирования 231, 243

Долины 60 Домен 192 Донорно-акцепторные пары 344 Донорный полупроводник 19, 114 Доноры, определение 19 Дрейфовая скорость носителей

заряда 15, 21, 48

Квантовый выход излучения 346

Дрейфовый ток 226

Фотоионизации 361

Дырки 13, 17

Кинетическая энергия решетки 75

Легкие 62, 63

Кинетическое уравнение Больцмана

Тяжелые 62, 63

Ковалентные кристаллы 12

Емкость контакта металл-

Колебания атомов решетки 69, 70, 76

полупроводник 252

Струны 69

P-n перехода 264

Компоненты тензора 52

Контакт вырожденных электронного

Закон Ома 186

и дырочного полупроводников

Сохранения квазиимпульса 304

Энергии 304

Металл-металл 246

Запорный слой 250

Металл-полупроводник 248

Зона Бриллюэна, первая 39

Электронного и

дырочного

Валентная 16

полупроводников 260

Запрещенная 16

Контактная разность

потенциалов

Примесной проводимости 124

179, 247, 248, 249

Проводимости 16

Концентрация дырок 102, 104, 107

Зонная структура энтимонида индия

Носителей заряда 93, 101

Вырождения 108

Арсенидз галлия 60

Зависимость от температуры

Германия 60

Кремния 60

Электронов 101, 104, 107

Коэффициент амбиполярной

Избыточная концентрация носителей

диффузии 238

заряда 201

Диффузии 227

Изгиб зон 241

Захвата 214

Изоэнергетические поверхности 54

Ионизации 214

Сферические" 55

Отражения 302

Эллипсоидальные 54, 55

Пельтье 181

Импульс фотона 209

Поглощения 210

Электрона 50

Пропускания 303

Инверсная заселенность 352

Рекомбинации 200

Инверсный слой 242

Теплового расширения 91

Индукция магнитная 164

Теплопроводности 183

Инжекция 236, 265

Томсона 181

Интеграл столкновения 137

Холла 166, 170

Ионизация примесей 116

Экстинкции 328

Катодолюминесценция 336,

Лавинный пробой 270

Квазиимпульс 37

Лазеры 353

Квазиуровень Ферми 201, 253

Ловушки захвата 213, 222

Квантовые генераторы 353

Рекомбинации 213, 222

Люминесценция 336

Гашение 346

Дырочного 157

Мономолекулярная 337

Электронного 157

Рекомбинационная 337

p-n переход 260

Физический 250

Магнитная проницаемость 328

p + -n переход 271

Максвелловское время релаксации

Поверхностная проводимость 290

Рекомбинация 297

МДП-структура 293

Поверхностные состояния 296

Быстрые 296

Наклон зон 46, 107

Медленные 296

Невырожденный примесный

Уровни 282

полупроводник 8, 104

Явления 282

Невырожденный собственный

Поверхностный потенциал 286

полупроводник 109

Поглощение примесное 304, 333

Некристаллические полупроводники

Решеточное 304, 334

Непрямые переходы 309

Света 303

Неравновесная функция

Свободными носителями заряда

распределения 133, 154

Неравновесные носители заряда 200

Собственное 304, 309

n + -n переход 271

При непрямых переходах 309

Нормальные координаты решетки 74

Прямых переходах 304

Подвижность носителей заряда 21,

Область ионизации примеси 117

Сильной 117

При эффекте поля 292

Слабой 116

Холла 171

Обменный интеграл 32

Показатель поглощения 328

Образование хвостов плотности

Преломления 328

состояния 126

Комплексный 328

Обращенный слой 242

Поле Холла 166

Одноэлектронное приближение 25

Полупроводник 8

Омический контакт 281

Акцепторный 19

Оператор Гамильтона 23

Вырожденный 106, 112

Оптические ветви колебаний

Донорный 19

решетки 77

Компенсированный 12

Частично 120

Переходы вертикальные 305

Невырожденный 8, 104

Внутризонные 332

Примесный 103

Межзонные 304

Собственный 109

Непрямые 309

Вырожденный 112

Прямые 304

Невырожденный 109

Периодический потенциал решетки

Поляризуемость 330

Постоянная Больцмана 96

Плотность состояний 92

Планка 23

Потенциальная энергия решетки 75

Рекомбинация безызлучательная 206

Правило отбора 305

Донорно-акцепторных пар 344

Приведенная масса 306

Излучательная 206

Приведенный квазиуровень Ферми

Межзонная 211

Уровень Ферми 101

Поверхностная 297

Примесные зоны 126

При переходе зона-примесь 342

Принцип детального равновесия 137

Ударная 211

Макроскопической обратимости

Фононная 206

Фотонная 206

Через ловушки 213

Проводимость 7, 157

Релаксация люминесценции 345

Процессы в p-n переходе при

Фотопроводимости 362

обратном смещении 265

Прямом смещении 264

Скорость генерации 225

Генерации 225

Групповая 270

Переноса 134, 141

Звуковая 270

Рассеяния 137

Поверхностной рекомбинации 297

Рекомбинации 225

Работа выхода 244, 245, 246

Фазовая 270

акцепторного

Фононная 270

полупроводника 246

Фотонная 306

собственного

Слой объемного заряда p-n перехода

полупроводника 246

электронного

Собственная концентрация 110

полупроводника 246

Соотношение Эйнштейна 228

Равновесная концентрация носителей

Соударения неупругие 141

заряда 107

Упругие 141

Равновесное состояние 138

Спектр излучения 337

Равновесные носители заряда 9, 199

Отражения 302

Радиолюминесценция 336

Поглощения 303

Разогрев электронно-дырочного газа

Спонтанное излучение 347

Статистика Бозе-Эйнштейна 83

Рассеяние диффузное 292

Больцмана 98 * -

Междолинное 190

Ферми-Дирака 96

На акустических фононах 151

Фононов 82

Атомах примеси 147

Степень вырождения 100

Дислокациях 147

Стимулированное излучение 349, 352

Ионах примеси 143

Сферические поверхности равной

Оптических фононах 153

энергии 55

Тепловых колебаниях решетки

Температура вырождения 108

Дебая 87, 88, 89

Насыщения 117

Появления собственной проводимости 117

Теория выпрямления тока 253

Диодная 256

- - - диффузионная 258 Тепловое расширение 90

- сопротивление 90 Теплоемкость 84 Теплопроводность 183 Ток насыщения 255, 258, 269

Толщина объемного заряда 252, 255 Триболюминесценция 336 Туннельный диод 277

Эффект 257

Угол Холла 167 Ударная ионизация 186, 194

- рекомбинация 211 Уровень Ферми 113, 248

- - зависимость от температуры

Уровни глубокие 69

Ландау 321

Тамма 282

Условие цикличности Борна- Кармана 35

Акустические 84

- оптические 84 Фотолюминесценция 336 Фотопроводимость 360 Фотоэлектромагнитный эффект 368 Фотоэффект 371

Внешний 375

Внутренний 357

Функция Блоха 29

Больцмана 98

Ферми-Дирака 96

Хвосты зон 126 Хемилюминесценция 336 Холл-фактор 170

Циклотронная частота 58 Циклотронный резонанс 57

Число состояний 35

Ширина запрещенной зоны 16, 112, 306

- - - зависимость от давления 317

- - - - - температуры 316 ЭДС Дембера 367

- термоэлектродвижущая 177 Экситонное излучение 340

Поглощение 323

Экситонные комплексы 326 Экситоны 323

Непрямые 326

Прямые 326

Свободные 325

Связанные 326

Эксклюзия носителей заряда 236 Экстракция носителей заряда 236 Электролюминесценция 336 Электропроводность примесного

полупроводника 18

- собственного полупроводника 12 Электростатическая ионизация 186,

Элементы тензора 52 Эллипсоидальные поверхности

равной энергии 54, 93 Энергетическая структура p-n

перехода 261

Щель 16

Энергия активации 106, 111

- гармонического осциллятора 76

- ионизации примеси 67

- связи экситона 324

Ферми 96

Фонона 83

- электронного сродства 244 Эффект Ганна 186, 190

Дембера 370

Эффект Зеебека 177

Магнетопоглощения 322



Понравилась статья? Поделитесь с друзьями!